淺談進口氦質譜檢漏儀的主要性能指標

更新時間：2021-10-15

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　　進口氦質譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的儀器，主要由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質譜室、抽氣系統及電氣部分等組成。具有性能穩定、靈敏度高等特點。

　　靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜儀器的主要性能指標。下面我們就來一一講解一下：

　　一、靈敏度及其校準

　　靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。即在儀器處于正常工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的小漏孔漏率。

　　1、所謂“動態檢漏”是指進口氦質譜檢漏儀本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。

　　2、所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的波動量。

　　3、如果檢漏時用輔助系統抽氣(即對示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時，給出儀器的可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準系統中應用一流量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則進口氦質譜檢漏儀的濃度靈敏度。

　　二、反應時間、清除時間及其測定

　　反應時間是指儀器節流閥*開啟，當信號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。清除時間是指輸出儀表訊號穩定到大值后，停止送氦，其訊號下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。

　　三、工作真空、極限真空及入口處抽速

　　質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用進口氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。